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系列羅茨干式真空泵機組
關鍵字：
羅茨
干式
真空泵機組
所屬行業：
其他
發布時間：
2015-12-15
價格：
所在地區：
遼寧 沈陽
合作信息期限：
2017年4月
合作信息類型：
意向合作
機構類型：
科研院所
供求關系：
供應
合作信息簡介：
該成果解決了潔凈真空獲得系統與集成電路制造工藝的優化組合、理論型線設計與多種轉子形式的組合、密封結構和振動/噪聲抑制技術、表面防腐技術、控制/反饋軟件與通用控制接口結合、電機與驅動系統設計等關鍵技術，具有完全自主知識產權，可應用于標準/中度腐蝕/強度腐蝕等各種工藝環境，技術水平達到..
發布機構：
中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司
系列渦旋干式真空泵
關鍵字：
渦旋干式
真空泵
所屬行業：
其他
發布時間：
2015-12-15
價格：
所在地區：
遼寧 沈陽
合作信息期限：
2017年4月
合作信息類型：
意向合作
機構類型：
科研院所
供求關系：
供應
合作信息簡介：
渦旋干式真空泵是一種真正意義上的清潔無油、高效率的真空獲得設備，主要應用于集成電路、半導體、醫療、生物制藥、食品等領域，解決了真空儀器設備的油污染問題，成為了世界上發展最快的泵種之一。沈陽科儀公司攻克了渦旋型線修正、渦旋盤加工工藝、泵表面處理方法、密封材料、間隙與極限真空關系研..
發布機構：
中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司
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