渦旋干式真空泵是一種真正意義上的清潔無油、高效率的真空獲得設備，主要應用于集成電路、半導體、醫療、生物制藥、食品等領域，解決了真空儀器設備的油污染問題，成為了世界上發展最快的泵種之一。沈陽科儀公司攻克了渦旋型線修正、渦旋盤加工工藝、泵表面處理方法、密封材料、間隙與極限真空關系研究等技術難題，研制開發了具有自主知識產權的渦旋干式真空泵，技術指標達到了國際同類產品水平。該成果不僅實現了替代進口，創造可觀的經濟效益和社會效益，同時對改善國內供需不平衡，打破壟斷，發展民族裝備制造業等也將起到積極作用。

　　合作方式本項目可采取代理銷售等方式合作

　　聯系單位中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司

　　聯系人周景玉

　　聯系電話024—23826802