渦旋干式真空泵是一種真正意義上的清潔無油、高效率的真空獲得設(shè)備，主要應(yīng)用于集成電路、半導(dǎo)體、醫(yī)療、生物制藥、食品等領(lǐng)域，解決了真空儀器設(shè)備的油污染問題，成為了世界上發(fā)展最快的泵種之一。沈陽科儀公司攻克了渦旋型線修正、渦旋盤加工工藝、泵表面處理方法、密封材料、間隙與極限真空關(guān)系研究等技術(shù)難題，研制開發(fā)了具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的渦旋干式真空泵，技術(shù)指標(biāo)達(dá)到了國(guó)際同類產(chǎn)品水平。該成果不僅實(shí)現(xiàn)了替代進(jìn)口，創(chuàng)造可觀的經(jīng)濟(jì)效益和社會(huì)效益，同時(shí)對(duì)改善國(guó)內(nèi)供需不平衡，打破壟斷，發(fā)展民族裝備制造業(yè)等也將起到積極作用。

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