該成果解決了潔凈真空獲得系統(tǒng)與集成電路制造工藝的優(yōu)化組合、理論型線設計與多種轉子形式的組合、密封結構和振動/噪聲抑制技術、表面防腐技術、控制/反饋軟件與通用控制接口結合、電機與驅動系統(tǒng)設計等關鍵技術，具有完全自主知識產權，可應用于標準/中度腐蝕/強度腐蝕等各種工藝環(huán)境，技術水平達到國際先進水平。產品具有啟動快、抽速大、壽命長、能耗低、無污染、操作簡便、自動控制、可高溫運行、遠程監(jiān)控、可靠性高等特點，可廣泛應用于集成電路、太陽能光伏、LED等新興領域以及石油化工、生物制藥等工業(yè)領域。

　　合作方式本項目可采取代理銷售等方式合作

　　聯系單位中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司

　　聯系人周景玉

　　聯系電話024—23826802