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MEMS檢測及微操作系統(tǒng)
關(guān)鍵字：
MEMS檢測
所屬行業(yè)：
機(jī)械
發(fā)布時(shí)間：
2014-11-07
價(jià)格：
所在地區(qū)：
黑龍江 哈爾濱
合作信息期限：
2015年12月
合作信息類型：
成果轉(zhuǎn)讓
機(jī)構(gòu)類型：
高等院校
供求關(guān)系：
供應(yīng)
合作信息簡介：
主要完成一個(gè)自動(dòng)化的MEMS封裝和檢測系統(tǒng)。封裝主要是完成0-20mm的兩個(gè)極板的對準(zhǔn)和粘接，粘接是在對準(zhǔn)后，通過加壓，使極板與芯片接觸并并粘合；檢測主要是完成0-20mm的MEMS芯片的表面非接觸檢測，包括：表面形貌（主要指粗糙度）、各種溝槽的三維幾何測量。 技術(shù)指標(biāo) 1、封裝技術(shù)指標(biāo) ..
發(fā)布機(jī)構(gòu)：
哈爾濱工業(yè)大學(xué)
面向MEMS組裝的微操作機(jī)器人
關(guān)鍵字：
微操作機(jī)器人
所屬行業(yè)：
機(jī)械
發(fā)布時(shí)間：
2014-11-07
價(jià)格：
所在地區(qū)：
黑龍江 哈爾濱
合作信息期限：
2015年12月
合作信息類型：
成果轉(zhuǎn)讓
機(jī)構(gòu)類型：
高等院校
供求關(guān)系：
供應(yīng)
合作信息簡介：
針對MEMS器件的組裝（微裝配、封裝、微連接等）作業(yè)，開展宏微精密定位、作業(yè)工具、顯微視覺系統(tǒng)等關(guān)鍵技術(shù)研究，并將若干單元技術(shù)集成，以高溫壓力微傳感器封裝為對象，研制出能夠完成微裝配任務(wù)的微操作設(shè)備，實(shí)現(xiàn)了典型MEMS器件裝配的自動(dòng)化和批量化，帶動(dòng)了MEMS組裝通用關(guān)鍵技術(shù)的研究。 技術(shù)..
發(fā)布機(jī)構(gòu)：
哈爾濱工業(yè)大學(xué)
共
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頁 總數(shù)：
37
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