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系列羅茨干式真空泵機組
關鍵字：
羅茨
干式
真空泵機組
所屬行業(yè)：
其他
發(fā)布時間：
2015-12-15
價格：
所在地區(qū)：
遼寧 沈陽
合作信息期限：
2017年4月
合作信息類型：
意向合作
機構類型：
科研院所
供求關系：
供應
合作信息簡介：
該成果解決了潔凈真空獲得系統(tǒng)與集成電路制造工藝的優(yōu)化組合、理論型線設計與多種轉子形式的組合、密封結構和振動/噪聲抑制技術、表面防腐技術、控制/反饋軟件與通用控制接口結合、電機與驅動系統(tǒng)設計等關鍵技術，具有完全自主知識產(chǎn)權，可應用于標準/中度腐蝕/強度腐蝕等各種工藝環(huán)境，技術水平達到..
發(fā)布機構：
中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司
共
1
頁 總數(shù)：
2
條
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