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系列羅茨干式真空泵機組
關(guān)鍵字：
羅茨
干式
真空泵機組
所屬行業(yè)：
其他
發(fā)布時間：
2015-12-15
價格：
所在地區(qū)：
遼寧 沈陽
合作信息期限：
2017年4月
合作信息類型：
意向合作
機構(gòu)類型：
科研院所
供求關(guān)系：
供應(yīng)
合作信息簡介：
該成果解決了潔凈真空獲得系統(tǒng)與集成電路制造工藝的優(yōu)化組合、理論型線設(shè)計與多種轉(zhuǎn)子形式的組合、密封結(jié)構(gòu)和振動/噪聲抑制技術(shù)、表面防腐技術(shù)、控制/反饋軟件與通用控制接口結(jié)合、電機與驅(qū)動系統(tǒng)設(shè)計等關(guān)鍵技術(shù)，具有完全自主知識產(chǎn)權(quán)，可應(yīng)用于標準/中度腐蝕/強度腐蝕等各種工藝環(huán)境，技術(shù)水平達到..
發(fā)布機構(gòu)：
中國科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器股份有限公司
共
1
頁 總數(shù)：
2
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