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用于高真空測量的電容式微型真空規(guī)

關(guān)鍵字：電容式微型真空規(guī)

所屬行業(yè)：機(jī)械

發(fā)布時(shí)間：2015-08-06

價(jià)格：

所在地區(qū)：福建廈門

合作信息期限：2016年10月

合作信息類型：意向合作

機(jī)構(gòu)類型：高等院校

供求關(guān)系：供應(yīng)

合作信息簡介：成果名稱：用于高真空測量的電容式微型真空規(guī) 　　成果擁有單位：廈門大學(xué) 　　成果簡介：　　以MEMS技術(shù)為基礎(chǔ)的硅微機(jī)械真空傳感器具有體積小、重量輕、成本低、可批量生產(chǎn)和單片集成等優(yōu)點(diǎn)，滿足國際上真空計(jì)的發(fā)展要求。該真空規(guī)為一種以MEMS技術(shù)為基礎(chǔ)的電容式硅微真空傳感器，它主要..

發(fā)布機(jī)構(gòu)：廈門大學(xué)

共1頁總數(shù)：2條

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