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用于高真空測(cè)量的電容式微型真空規(guī)
關(guān)鍵字：
電容式
微型
真空規(guī)
所屬行業(yè)：
機(jī)械
發(fā)布時(shí)間：
2015-08-06
價(jià)格：
所在地區(qū)：
福建 廈門
合作信息期限：
2016年10月
合作信息類型：
意向合作
機(jī)構(gòu)類型：
高等院校
供求關(guān)系：
供應(yīng)
合作信息簡(jiǎn)介：
成果名稱：用于高真空測(cè)量的電容式微型真空規(guī) 成果擁有單位：廈門大學(xué) 成果簡(jiǎn)介： 以MEMS技術(shù)為基礎(chǔ)的硅微機(jī)械真空傳感器具有體積小、重量輕、成本低、可批量生產(chǎn)和單片集成等優(yōu)點(diǎn)，滿足國(guó)際上真空計(jì)的發(fā)展要求。該真空規(guī)為一種以MEMS技術(shù)為基礎(chǔ)的電容式硅微真空傳感器，它主要..
發(fā)布機(jī)構(gòu)：
廈門大學(xué)
共
1
頁(yè) 總數(shù)：
2
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