成果名稱：用于高真空測量的電容式微型真空規

　　成果擁有單位：廈門大學

　　成果簡介：

　　以MEMS技術為基礎的硅微機械真空傳感器具有體積小、重量輕、成本低、可批量生產和單片集成等優點，滿足國際上真空計的發展要求。該真空規為一種以MEMS技術為基礎的電容式硅微真空傳感器，它主要采用p++硅自停止腐蝕技術和硅-玻璃鍵合技術制作，形成了硅-玻璃-硅的三明治結構。傳感器的傳感元是經過濃硼擴散的硼硅膜，方形硼硅膜的應用使得傳感器有更高的靈敏度，等離子刻蝕硼硅膜引出金屬電極的方法使得傳感器制作更簡單。該真空微傳感器具有結構簡單、靈敏度高等優點，其尺寸為5mm×6.4mm。微型電容式真空規的產業化，可以提高國內真空測量微型化的水平。由于微型電容真空規的研制需要探索極限尺寸下(超薄膜和極小的極板間隙)的MEMS工藝技術，因而由此開發的工藝技術可以很容易用來開發各種用途的微型電容式傳感器。處于深入研究階段。真空傳感器是一種重要的傳感器，用于真空度的測量，可以廣泛地應用于食品、化工、醫療、建筑、汽車、電子和光學等領域。投產條件和預期經濟效益：微型電容真空規項目的研究成果，具有產業化的潛力。由于微型電容真空規與其它微型電容傳感器的制作的加工方法和設備是一樣的，因而在產業化中很容易形成規模生產。微型電容傳感器的即可開發用于真空設備、航空航天裝置等高精度測試所需的器件，也可用在醫療、玩具這樣一些普通精度測量中，其市場潛力是巨大的。

　　合作方式：合作開發。

　　聯系方式：

　　聯 系 人：馮勇建

　　電話：0592-2187172 13950001410

　　E - mail ：yjfeng@xmu.edu.cn