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新型MEMS微納電容式多功能傳感器芯片的產業化

關鍵字：電容式多功能傳感器芯片

所屬行業：電子信息

發布時間：2015-12-09

價格：

所在地區：江蘇蘇州

合作信息期限：2017年6月

合作信息類型：意向合作

機構類型：科研院所

供求關系：供應

合作信息簡介：本項目創新性地研制MEMS集成壓力/拉力/位移檢測的多功能、高分辨率、和高靈敏度的微納電子傳感器芯(Micro/Nano-electronic Sensor Chips)，將填補國際上在微納尺度應用于多功能傳感檢測的空白。本產品系利用微機電系統(MEMS)設計和加工技術的特殊優勢，借助UV-LIGA(光刻、電鑄)技術，通過可變電容和機..

發布機構：中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所

用于高真空測量的電容式微型真空規

關鍵字：電容式微型真空規

所屬行業：機械

發布時間：2015-08-06

價格：

所在地區：福建廈門

合作信息期限：2016年10月

合作信息類型：意向合作

機構類型：高等院校

供求關系：供應

合作信息簡介：成果名稱：用于高真空測量的電容式微型真空規　　成果擁有單位：廈門大學　　成果簡介：　　以MEMS技術為基礎的硅微機械真空傳感器具有體積小、重量輕、成本低、可批量生產和單片集成等優點，滿足國際上真空計的發展要求。該真空規為一種以MEMS技術為基礎的電容式硅微真空傳感器，它主要..

發布機構：廈門大學

共1頁總數：4條

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