【技術開發單位】兵器工業集團公司北方夜視科技集團有限公司

　　【技術簡介】利用微電子機械系統（MEMS）技術研制氧化釩非制冷紅外探測器。公司重點拓展的領域是高端數模混合集成電路開發和MEMS（微機電）傳感器和驅動器。公司研發團隊的主要人員均有海外學習和工作經歷，人員背景包括集成電路設計，MEMS傳感器設計，半導體工藝開發與集成，材料科學，電子封裝，系統集成，圖像處理等。

　　【技術特點】微電子機械系統（MEMS）技術是一種微細加工技術，它可將信息獲取、處理和執行等功能集成，具有微小、智能、可執行、可集成、工藝兼容性好、成本低等優點。將MEMS用于非制冷紅外探測器的研制能夠使器件向高可靠性、微型化、智能化、高密度陣列集成和低成本、高精度、可批量生產等方向發展。

　　【技術水平】 主要技術指標：
　　速度：25～100 Hz
　　熱響應時間：3～10 ms
　　響應率：5～25 mV/K
　　NETD：小于等于40 mK
　　空間噪聲：＜0.5 NETD
　　像元中心間距：20～45 um
　　陣列：160×120，384×288，640×512
　　盲元率：＜0.1%
　　動態范圍：＞70 dB

　　【可應用領域和范圍】我公司生產的非制冷紅外探測器系列產品, 適用于消防、電力、建筑、安防等民用領域，實現夜視觀測、制導、車載探測和溫度測量等功能。

　　【技術狀態】 批量生產階段

　　【投入需求】建立一條6英寸探測器圓片生產線，投入約為8000萬元人民幣。主要投入的設備有光刻機，顯影機，金屬刻蝕機，非金屬刻蝕機，清洗機，甩干機，濺射機，CVD，涂膠機，固膠機，退火爐，和各種量測設備，如CDSEM，探針臺，臺階儀，應力儀，膜厚儀，4探針檢測儀，缺陷檢測儀等。

　　【預期效益】產能為年產5萬只各類探測器，根據目前市場情況，售價為3000至5000元人民幣，銷售額在兩億元人民幣左右，毛利在50%左右。

　　【聯系方式】唐毅松  010-88829603  0871-5105610