【技術簡介】利用高能短脈沖激光聚焦作用于靶材料表面，產生等離子體，使材料的結構及特性發生改變，重新生長成具有特殊性質的功能材料。利用該原理可制備具有廣闊市場前景的類金剛石膜、高溫超導薄膜、鐵電薄膜及磁性薄膜等功能薄膜，還可用于制備超細納米粉等。
　　
　　【技術特點】該技術的優點是：生長出的材料可以和靶材料成分保持很好的一致性；操作簡便，可對多個靶材料同時作用，適于制備多元素化合材料；室溫沉積，可以在任何襯底材料上生長功能膜；能量大，幾乎可以蒸發一切難熔的靶材料；靶材料利用率高損耗少；在制備功能膜方面該技術具有絕對的競爭力。相較傳統的化學氣相沉積等技術具有：離子動能高、離化程度高、易摻雜、薄膜硬度高、透過率高、穩定性高等優勢。
　　
　　【技術水平】激光制備功能材料是當前國內外的熱點與前沿技術，我單位完成的脈沖激光沉積類金剛石膜項目，在國際上首次實現了激光制備類金剛石膜的工程化，并獲得了軍隊科技進步一等獎。研制的類金剛石膜納米硬度達到44Gpa，遠高于其他方法（一般低于20GPa），通過了軍標環境試驗；在太陽能電池、硅、鍺、硫化鋅等材料上已實現了很好的增透保護效果；在揚聲器的振膜上鍍制類金剛石膜后其高頻響應特性得到明顯改善。鍍類金剛石膜的材料抗摩擦、耐腐蝕、耐高溫、疏水等性能大幅提高。
　　該技術在制備包括超導薄膜、鐵電薄膜在內的其他功能膜以及超細納米粉時也具有絕對的優勢，可以制備出其他方法無法制備的高性能功能膜。
　　
　　【可應用領域和范圍】該技術可廣泛應用于光學、機械、醫學、聲學及電子學等所有需要研究新型功能材料的領域。其中制備的類金剛石膜在增透保護膜、減磨涂層、磁盤涂層、揚聲器振膜、水凈化電極、心臟瓣膜、人工關節等方面均有極為廣闊的市場前景。制備的超細納米類金剛石粉添加于汽油后，對發動機關鍵部分不僅具有潤滑功能，對微小裂紋、缺口等更具有自修復功能。
　　采用本技術制備的超導薄膜具有超導轉變溫度高和超導臨界電流密度高等優點，可廣泛應用于電子學領域；制備的鐵電薄膜可極大地改善薄膜的鐵電性和疲勞特性，在鐵電記憶、壓電、熱釋電和介電等集成器件中有重要應用。
　　
　　【專利狀態】已獲得3項專利。
　　
　　【技術狀態】試生產階段
　　
　　【合作方式】技術轉讓  合作開發
　　
　　【投入需求】若實現大規模批量生產，需投入資金8000萬元，場地1000m2
　　
　　【預期效益】使用本技術在光學鏡頭和太陽能電池表面鍍制類金剛石膜后，其在風沙、鹽霧、高溫等惡劣環境下的壽命將增加至少兩三倍以上，用于機械模具、發動機、揚聲器振膜、水凈化電極、心臟瓣膜等方面后，相關產品的性能也將大幅提高，而生產成本、維護費用等大幅降低。作為一種新型前沿的科學技術，本技術制備的其他功能材料在提高性能和降低成本上也都具有絕對的優勢，經濟效益和社會效益不可估量。
　　
　　【聯系方式】程勇  027-51777856