合作信息
石油勘探MEMS高精度數(shù)字檢波器產(chǎn)業(yè)化
發(fā)布單位：河北美泰電子科技有限公司
所屬行業(yè)：電子信息
合作信息類型：技術(shù)協(xié)作
機(jī)構(gòu)類型：企業(yè)
供求關(guān)系：供應(yīng)
合作信息期限：2016-2
參考價(jià)格：面議
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合作信息簡介
【技術(shù)簡介】全國三大石油公司，中國石油、中國石化和中國海洋石油總公司對(duì)檢波器年使用量約500萬只,檢波器的年更換率一般高于15%。
本項(xiàng)目是將軍用制導(dǎo)、導(dǎo)航用的高精度MEMS加速度傳感器通過技術(shù)、降低成本、批量制造、應(yīng)用驗(yàn)證，實(shí)現(xiàn)在石油勘探、煤礦勘探領(lǐng)域的應(yīng)用，打破國外公司在該領(lǐng)域的技術(shù)壟斷。
河北美泰電子科技有限公司是中國電科十三所控股的高技術(shù)公司，已研制出高分辨率MEMS加速度傳感器，分辨率達(dá)到1μg，頻率響應(yīng)0～1kHz，基于高分辨率MEMS加速度傳感器和數(shù)字信號(hào)處理技術(shù)，研制出數(shù)字地震檢波器。突破了MEMS加速度傳感器芯片結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)技術(shù)，采用差動(dòng)信號(hào)檢測，提高了穩(wěn)定性；突破了三層SOI體硅加工和圓片級(jí)真空封裝技術(shù)，降低了材料應(yīng)力，提高溫度穩(wěn)定性，實(shí)現(xiàn)了圓片級(jí)真空封裝；研制出高分辨率MEMS加速度傳感器配套ASIC調(diào)理電路，減少了信號(hào)干擾，縮小了體積，降低了成本。
美泰公司擁有MEMS超凈廠房2000平米、建有一條6英寸MEMS工藝線，擁有世界一流的加工和測試設(shè)備。2015年將建成15000m2、0.5μm、6英寸MEMS生產(chǎn)線。
【技術(shù)特點(diǎn)】本項(xiàng)目采用MEMS梳齒電容方案代替?zhèn)鹘y(tǒng)的動(dòng)圈式和壓電式，具有小體積重量、低功耗、零頻響、高分辨率、智能化的突出優(yōu)點(diǎn)。動(dòng)圈式傳感器低頻性能差，1Hz以下噪聲急劇增加，低于0.17Hz的振動(dòng)信號(hào)不能識(shí)別，無法滿足石油浴勘探隊(duì)超低頻和寬帶寬的需求；壓電式傳感器低頻性能差，10Hz以下噪聲急劇增加。另外，MEMS加速度傳感器可批量制造、成本低、體積小、產(chǎn)品重復(fù)性好。由于MEMS加速度傳感器的突出優(yōu)點(diǎn)在數(shù)字檢波器領(lǐng)域，MEMS電容式加速度傳感器是技術(shù)發(fā)展趨勢。
國內(nèi)的MEMS高精度數(shù)字檢波器研究處于樣品研制階段，主要單位有威海雙豐、上海微系統(tǒng)所、北京大學(xué)、河北美泰電子科技有限公司等單位。河北美泰在高精度MEMS加速度傳感器方面的技術(shù)，來源于中國電科十三所，自1996年開始，承擔(dān)了國家MEMS加速度傳感器相關(guān)領(lǐng)域的重大專項(xiàng)、預(yù)研、型號(hào)研制等項(xiàng)目50多項(xiàng)，在產(chǎn)品技術(shù)指標(biāo)、工程型號(hào)應(yīng)用、批量制造能力等方面均處于領(lǐng)先水平，產(chǎn)品的主要技術(shù)指標(biāo)達(dá)到國際先進(jìn)水平。
【技術(shù)指標(biāo)】
分辨率：≤1×10-6g；
帶寬：0～1kHz；
靈敏度：1000±20mV/g；
零位輸出：2500±100mV；
交叉耦合：≤3%；
量程：±2g；
閾值：≤1×10-6g。
工作溫度范圍：-40℃～+85℃；
存儲(chǔ)溫度范圍：-55℃～+125℃；
沖擊：2000g。
【技術(shù)水平】國際先進(jìn)
【可應(yīng)用領(lǐng)域和范圍】主要應(yīng)用于石油勘探、煤礦勘探等領(lǐng)域。也可應(yīng)用于地震監(jiān)測、地下文物保護(hù)等領(lǐng)域。
【專利狀態(tài)】已取得專利8項(xiàng)
【技術(shù)狀態(tài)】小批量生產(chǎn)、工程應(yīng)用階段
【合作方式】合作開發(fā) 融資需求
【投入需求】5000萬元
【轉(zhuǎn)化周期】2年
【預(yù)期效益】國家正在開展東部老油區(qū)的“二次”精細(xì)勘探、西部的大規(guī)模地質(zhì)探查，全國三大石油公司，中國石油、中國石化和中國海洋石油總公司對(duì)檢波器年使用量約500萬只,檢波器的年更換率一般高于15%。
本項(xiàng)目完成后，達(dá)到年產(chǎn)50萬只的生產(chǎn)能力，銷售不少于20萬只，實(shí)現(xiàn)銷售輸入1億元。
本項(xiàng)目的實(shí)施，將提高我國MEMS傳感器領(lǐng)域的核心自主可控能力，增強(qiáng)我國石油勘探行業(yè)的安全和核心競爭力。
【聯(lián)系方式】徐愛東0311-87091146/13831155655
本項(xiàng)目是將軍用制導(dǎo)、導(dǎo)航用的高精度MEMS加速度傳感器通過技術(shù)、降低成本、批量制造、應(yīng)用驗(yàn)證，實(shí)現(xiàn)在石油勘探、煤礦勘探領(lǐng)域的應(yīng)用，打破國外公司在該領(lǐng)域的技術(shù)壟斷。
河北美泰電子科技有限公司是中國電科十三所控股的高技術(shù)公司，已研制出高分辨率MEMS加速度傳感器，分辨率達(dá)到1μg，頻率響應(yīng)0～1kHz，基于高分辨率MEMS加速度傳感器和數(shù)字信號(hào)處理技術(shù)，研制出數(shù)字地震檢波器。突破了MEMS加速度傳感器芯片結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)技術(shù)，采用差動(dòng)信號(hào)檢測，提高了穩(wěn)定性；突破了三層SOI體硅加工和圓片級(jí)真空封裝技術(shù)，降低了材料應(yīng)力，提高溫度穩(wěn)定性，實(shí)現(xiàn)了圓片級(jí)真空封裝；研制出高分辨率MEMS加速度傳感器配套ASIC調(diào)理電路，減少了信號(hào)干擾，縮小了體積，降低了成本。
美泰公司擁有MEMS超凈廠房2000平米、建有一條6英寸MEMS工藝線，擁有世界一流的加工和測試設(shè)備。2015年將建成15000m2、0.5μm、6英寸MEMS生產(chǎn)線。
【技術(shù)特點(diǎn)】本項(xiàng)目采用MEMS梳齒電容方案代替?zhèn)鹘y(tǒng)的動(dòng)圈式和壓電式，具有小體積重量、低功耗、零頻響、高分辨率、智能化的突出優(yōu)點(diǎn)。動(dòng)圈式傳感器低頻性能差，1Hz以下噪聲急劇增加，低于0.17Hz的振動(dòng)信號(hào)不能識(shí)別，無法滿足石油浴勘探隊(duì)超低頻和寬帶寬的需求；壓電式傳感器低頻性能差，10Hz以下噪聲急劇增加。另外，MEMS加速度傳感器可批量制造、成本低、體積小、產(chǎn)品重復(fù)性好。由于MEMS加速度傳感器的突出優(yōu)點(diǎn)在數(shù)字檢波器領(lǐng)域，MEMS電容式加速度傳感器是技術(shù)發(fā)展趨勢。
國內(nèi)的MEMS高精度數(shù)字檢波器研究處于樣品研制階段，主要單位有威海雙豐、上海微系統(tǒng)所、北京大學(xué)、河北美泰電子科技有限公司等單位。河北美泰在高精度MEMS加速度傳感器方面的技術(shù)，來源于中國電科十三所，自1996年開始，承擔(dān)了國家MEMS加速度傳感器相關(guān)領(lǐng)域的重大專項(xiàng)、預(yù)研、型號(hào)研制等項(xiàng)目50多項(xiàng)，在產(chǎn)品技術(shù)指標(biāo)、工程型號(hào)應(yīng)用、批量制造能力等方面均處于領(lǐng)先水平，產(chǎn)品的主要技術(shù)指標(biāo)達(dá)到國際先進(jìn)水平。
【技術(shù)指標(biāo)】
分辨率：≤1×10-6g；
帶寬：0～1kHz；
靈敏度：1000±20mV/g；
零位輸出：2500±100mV；
交叉耦合：≤3%；
量程：±2g；
閾值：≤1×10-6g。
工作溫度范圍：-40℃～+85℃；
存儲(chǔ)溫度范圍：-55℃～+125℃；
沖擊：2000g。
【技術(shù)水平】國際先進(jìn)
【可應(yīng)用領(lǐng)域和范圍】主要應(yīng)用于石油勘探、煤礦勘探等領(lǐng)域。也可應(yīng)用于地震監(jiān)測、地下文物保護(hù)等領(lǐng)域。
【專利狀態(tài)】已取得專利8項(xiàng)
【技術(shù)狀態(tài)】小批量生產(chǎn)、工程應(yīng)用階段
【合作方式】合作開發(fā) 融資需求
【投入需求】5000萬元
【轉(zhuǎn)化周期】2年
【預(yù)期效益】國家正在開展東部老油區(qū)的“二次”精細(xì)勘探、西部的大規(guī)模地質(zhì)探查，全國三大石油公司，中國石油、中國石化和中國海洋石油總公司對(duì)檢波器年使用量約500萬只,檢波器的年更換率一般高于15%。
本項(xiàng)目完成后，達(dá)到年產(chǎn)50萬只的生產(chǎn)能力，銷售不少于20萬只，實(shí)現(xiàn)銷售輸入1億元。
本項(xiàng)目的實(shí)施，將提高我國MEMS傳感器領(lǐng)域的核心自主可控能力，增強(qiáng)我國石油勘探行業(yè)的安全和核心競爭力。
【聯(lián)系方式】徐愛東0311-87091146/13831155655
