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    合作信息
    石油勘探MEMS高精度數字檢波器產業化
    發布單位:河北美泰電子科技有限公司
    所屬行業:電子信息
    合作信息類型:技術協作
    機構類型:企業
    供求關系:供應
    合作信息期限:2016-2
    參考價格:面議
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    合作信息簡介
    【技術簡介】全國三大石油公司,中國石油、中國石化和中國海洋石油總公司對檢波器年使用量約500萬只,檢波器的年更換率一般高于15%。

      本項目是將軍用制導、導航用的高精度MEMS加速度傳感器通過技術、降低成本、批量制造、應用驗證,實現在石油勘探、煤礦勘探領域的應用,打破國外公司在該領域的技術壟斷。

      河北美泰電子科技有限公司是中國電科十三所控股的高技術公司,已研制出高分辨率MEMS加速度傳感器,分辨率達到1μg,頻率響應0~1kHz,基于高分辨率MEMS加速度傳感器和數字信號處理技術,研制出數字地震檢波器。突破了MEMS加速度傳感器芯片結構設計技術,采用差動信號檢測,提高了穩定性;突破了三層SOI體硅加工和圓片級真空封裝技術,降低了材料應力,提高溫度穩定性,實現了圓片級真空封裝;研制出高分辨率MEMS加速度傳感器配套ASIC調理電路,減少了信號干擾,縮小了體積,降低了成本。

      美泰公司擁有MEMS超凈廠房2000平米、建有一條6英寸MEMS工藝線,擁有世界一流的加工和測試設備。2015年將建成15000m2、0.5μm、6英寸MEMS生產線。

      【技術特點】本項目采用MEMS梳齒電容方案代替傳統的動圈式和壓電式,具有小體積重量、低功耗、零頻響、高分辨率、智能化的突出優點。動圈式傳感器低頻性能差,1Hz以下噪聲急劇增加,低于0.17Hz的振動信號不能識別,無法滿足石油浴勘探隊超低頻和寬帶寬的需求;壓電式傳感器低頻性能差,10Hz以下噪聲急劇增加。另外,MEMS加速度傳感器可批量制造、成本低、體積小、產品重復性好。由于MEMS加速度傳感器的突出優點在數字檢波器領域,MEMS電容式加速度傳感器是技術發展趨勢。

      國內的MEMS高精度數字檢波器研究處于樣品研制階段,主要單位有威海雙豐、上海微系統所、北京大學、河北美泰電子科技有限公司等單位。河北美泰在高精度MEMS加速度傳感器方面的技術,來源于中國電科十三所,自1996年開始,承擔了國家MEMS加速度傳感器相關領域的重大專項、預研、型號研制等項目50多項,在產品技術指標、工程型號應用、批量制造能力等方面均處于領先水平,產品的主要技術指標達到國際先進水平。

      【技術指標】

      分辨率:≤1×10-6g;
      帶寬:0~1kHz;
      靈敏度:1000±20mV/g;
      零位輸出:2500±100mV;
      交叉耦合:≤3%;
      量程:±2g;
      閾值:≤1×10-6g。
      工作溫度范圍:-40℃~+85℃;
      存儲溫度范圍:-55℃~+125℃;
      沖擊:2000g。

      【技術水平】國際先進

      【可應用領域和范圍】主要應用于石油勘探、煤礦勘探等領域。也可應用于地震監測、地下文物保護等領域。

      【專利狀態】已取得專利8項

      【技術狀態】小批量生產、工程應用階段

      【合作方式】合作開發  融資需求

      【投入需求】5000萬元

      【轉化周期】2年

      【預期效益】國家正在開展東部老油區的“二次”精細勘探、西部的大規模地質探查,全國三大石油公司,中國石油、中國石化和中國海洋石油總公司對檢波器年使用量約500萬只,檢波器的年更換率一般高于15%。

      本項目完成后,達到年產50萬只的生產能力,銷售不少于20萬只,實現銷售輸入1億元。

      本項目的實施,將提高我國MEMS傳感器領域的核心自主可控能力,增強我國石油勘探行業的安全和核心競爭力。

      【聯系方式】徐愛東0311-87091146/13831155655
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