【技術簡介】我國對于超純度電子氣體的研究前后經歷了20多年的努力，開發出了一批特種氣體，可以基本滿足中小規模集成電路用的氣體，但對于超大(VLSI)和特大(ULSI)規模集成電路的用氣仍然存在技術空白，尤其是純度超過6N的氣體全部依靠進口來解決。

　　本項目的實施，將從根本上改變當前我國高純電子氣體嚴重受制于國外的現狀，增強產品在國際市場上的競爭力。同時，項目718所積極致力于探索出一條高純電子氣體供應商與半導體制造企業之間的全新的合作模式，讓半導體企業在安全共贏的前提下去支持和幫助國內擁有自主知識產權的高純電子氣體產業快速發展，從而使我國半導體產業健康有序地發展。項目研發涉及的高純電子氣體雖然各不相同，但在合成工藝和純化工藝上有許多關鍵共性技術，在本項目實施過程中，718所將著力進行共性技術的研發和突破，計劃研發的關鍵共性技術主要有：制備高純電子氣體的大功率電解技術，高純電子氣體的深度純化技術，高純電子氣體的凈化技術的研究以及高純電子氣體分析檢測技術。

　　 通過對10種特種電子氣體的研發與試生產，完成應用于IC制造過程中的外延、離子注入、擴散、蝕刻、沉積、清洗等工藝，使我國的民族電子信息產業取得蓬勃發展。

　　【技術特點】電子氣體作為一種非常重要的半導體材料，而其中雜質含量的高低不僅反映了生產過程的操作水平，而且對下游生產過程的工藝操作、設備運行乃至產品質量都將產生重要的影響和制約作用。隨著電子技術向高性能、多功能、大容量、微型化和批量化方向的發展,對高純氣體提出了更高的技術要求 ,更重要的是對潔凈度提出了苛刻的要求。本項目解決的關鍵技術為：

　　（1）純化技術。在產品分離過程中，我們根據原料中含有雜質的種類、濃度對吸附劑作物理和化學處理，成功地將干性吸附劑運用在提純工藝中，提高吸附劑的吸附選擇性，具有吸附和催化兩種功能。這在國內民用領域應尚無先例。
　　（2）凈化技術；
　　（3）高精度分析檢測技術。對金屬雜質的分析，主要是建立氣相超凈吸收方法，保證樣品處理無污染，準確度高，通過電感耦合等離子質譜對樣品直接測定，檢測方法精確、可靠。
　　（4）氣體潔凈充裝技術；
　　（5）高純混合氣體配制系統研發。目前國內半導體企業使用的高純混合氣體多數是進口，本項目在實施過程中，計劃開發出純度高、穩定性好的混合配氣系統和裝置，生產出適合用戶要求的混合氣產品，逐步替代進口產品。

　　【技術指標】六氟乙烷純度達到99.9993%，產能達到50噸/年；八氟丙烷純度達到99.9995%，產能達到30噸/年；八氟環丁烷純度達到99.9993%，產能達到50噸/年；四氟化硅純度達到99.999%，產能達到50噸/年；氟化氫純度達到99.999%，產能達到30噸/年；氯化氫純度達到99.999%，產能達到50噸/年；六氟化鎢純度達到99.999%，產能達到150噸/年；碳酰氟純度達到99.9%，產能達到30噸/年；三氟化氯純度達到99.9%，產能達到50噸/年；高純電子混合器產能達到10000瓶/年。

　　【技術水平】國內領先

　　【可應用領域和范圍】本技術主要應用于IC制造過程中的外延、離子注入、擴散、蝕刻、沉積、清洗等關鍵工藝。

　　【專利狀態】已申請專利2項

　　【技術狀態】小批量生產、工程應用階段

　　【合作方式】融資需求

　　【投入需求】面議

　　【轉化周期】2年

　　【預期效益】本項目完成后，我單位將成為我國最大的高純電子特種氣體研發與生產基地，年產各種高純電子氣體2000余噸，新增5億元左右的年銷售收入，使我國高純電子氣體的生產能力進入世界前列，同時帶動集成電路、化工、機械、液晶面板制造、太陽能等上下游企業的發展，為我國半導體產業的發展提供助力。

　　【聯系方式】董  強0310-7189618/13082113282