CXM系列移相式數(shù)字波面干涉儀是光、機(jī)、電、算相結(jié)合，融硬、軟件于一體的高精度、實(shí)時快速的智能化儀器。有多種不同的型號，適應(yīng)于不同的口徑的光學(xué)元件的參數(shù)測試要求。項目曾獲國家科技進(jìn)步二等獎，兵器工業(yè)總公司科技進(jìn)步一等獎，江蘇省科技進(jìn)步二等獎. 技術(shù)指標(biāo)：     1、數(shù)字化波面測試原理：采用國際上最先進(jìn)的移相（PZT、激光波長調(diào)諧）干涉術(shù)原理；      2、光電自動控制：儀器的倍率、焦距和光強(qiáng)采用機(jī)電自動控制；      3、強(qiáng)大的軟件功能      4、測試參數(shù)齊全      1）可測試平面面形、棱鏡的直角偏差、激光棒透射波前畸變、望遠(yuǎn)系統(tǒng)的波差等；      2）儀器配有系列標(biāo)準(zhǔn)球面鏡頭，相對孔徑分別為 1/0.7，1/1.5，1/3，1/5，1/7，1/11，用于測量不同相對孔徑的球面面形、透鏡系統(tǒng)；      3）給出波面的波像差（光程差），峰谷值（PV）、標(biāo)準(zhǔn)偏差（RMS）；      4）給出 Zernike 多項式像差系數(shù)，光學(xué)系統(tǒng)的幾何點(diǎn)列圖、點(diǎn)擴(kuò)散函數(shù)、調(diào)制傳遞函數(shù)。