多元等離子體基離子注入混合及多層復(fù)合膜技術(shù)是在哈爾濱工業(yè)大學最新研制的新一代表面改性設(shè)備DLZ-01型等離子體表面改性裝置上開發(fā)出來的最新表面改性技術(shù)，它綜合了目前流行的多種利用等離子體方法進行表面改性的先進技術(shù)，將磁控濺射離子鍍、多弧離子鍍及全方位離子注入技術(shù)結(jié)合在一起，形成一種新型的等離子體基表面改性技術(shù)。此技術(shù)已獲得國家發(fā)明專利。該裝置可以根據(jù)表面工程技術(shù)的具體要求，在不破壞真空的情況下，單獨或同時進行離子鍍或離子混合注入，如磁控濺射離子鍍、多弧離子鍍、全方位離子注入、等離子體化學熱處理、高壓脈沖輝光放電處理等。獲得的表面改性層既具有普通離子鍍的優(yōu)點，也具有多束混合技術(shù)或離子注入等的優(yōu)點。     該技術(shù)可以對復(fù)雜結(jié)構(gòu)零件、精密零件、傳動件、各種滾動軸承、滑動接觸件、工具、模具、量具等進行批量處理，獲得滿足表面工程技術(shù)要求的耐磨、耐蝕、減摩或梯度要求的表面改性層。適用于鋼鐵材料、鋁合金、鈦合金、高溫合金、無磁合金及其它非金屬材料的耐腐蝕性和耐磨性等。     應(yīng)用效果    （1）硬質(zhì)合金切削刀具經(jīng)等離子體淹沒離子注入氮后加工HRC38~40的調(diào)質(zhì)鋼與同材料未處理刀具相比使用壽命提高3~5倍，出屑流暢，表面光潔度提高1~2級，可到Ra=1.6~0.8mm。    （2）鋼銑刀經(jīng)等離子體淹沒離子注入氮后加工淬火狀態(tài)50CrV鋼與同材料未處理刀具相比，出屑流暢，表面光潔度提高1級。    （3）TC4合金經(jīng)等離子體淹沒離子注入氮后表面硬度達HK1150，耐磨性提高5倍。    （4）軸承鋼經(jīng)等離子體基離子注入混合Ti,N+Ti,C+DLC, 耐磨性提高幾倍至幾十倍。    （5）鋁合金經(jīng)等離子體基離子注入混合Ti,N+Ti,C+DLC，耐磨性提高5倍以上。