【技術簡介】隨著新一代高性能戰斗機（三代機、三代半機和四代機等）、大型運載火箭、精確變軌衛星和高速巡航導彈等的技術/戰術指標不斷提升，對核心部件或分系統的性能提出越來越高的要求，因此，不斷引入先進技術，如燃料微噴霧化技術、微孔氣膜冷卻保護技術和跨尺度微/小孔超精密制造技術等，這集中地反映在上述高性能武器裝備的發動機和伺服機構上。由于我國缺少在宏觀零件上進行大深徑比微孔和小孔的超精密加工和測量技術與裝備，在研究和生產中必然遇到極大的困難，使大深徑比微孔徑和小孔徑的超精密測量成為技術難題，并使其成為制約發動機和伺服機構制造質量提升和性能指標提升的瓶頸。

　　技術突破：

　　（1）提出了基于雙光纖共球耦合的微位移傳感方法，研制成功深微孔瞄準傳感器的測量系統，解決了測頭可測深度和孔徑大小光學系統景深受限制的難題，可測最小孔徑達0.1mm，深徑比不大于9：1；
　?。?）提出了基于微焦準直的光纖微位移傳感方法，研制成功深微孔瞄準傳感器與測量系統，其位移放大倍率達2000倍～10000倍，分辨力達1nm，深微孔瞄準傳感器具有深5mm的測量能力，可測最小孔徑達0.1mm，解決了大深徑比微孔徑超精密測量難題。
　　（3）提出了基于球形電容極板的微位移傳感方法，研制成功深小孔瞄準傳感器與測量系統，可測最小孔徑達?3.0mm，可測孔深徑比不大于13:1，測量分辨力達4nm，解決了毫米級大深徑比小孔超精密測量難題。
　　（4）研制成功國內第一臺大深徑比微孔和小孔超精密測量儀，填補了國內空白。

　　實現原理：

　　采用瞄準觸發式測量原理。

　　實現途徑：

　　采用雙光纖共球耦合瞄準式傳感器、單光纖微焦準直式傳感器和球形電容極板式傳感器，形成測量過程中的準確瞄準。

　　【技術特點】在深微孔測量技術領域，綜合水平最高、最具權威性的是德國聯邦物理技術研究院（PTB）。該單位在完成基于微光珠傳感的深微小孔測量技術后，研制出基于上述技術原理的測量標準裝置。本項目研制的“大深徑比微/小孔徑超精密測量裝置”經與PTB進行的對比實驗表明：雙方對標準樣件0.3mm的微測試結果吻合；PTB可測量的最小孔徑為0.2mm，本項目為?0.1mm；PTB對百微米量級深微孔的可測深度為0.5mm，本項目對百微米量級的深微孔的可測深度為5.0mm；PTB的擴展不確定度為0.9m，本項的擴展不確定度為0.5m。在可測最小孔徑、可測最大深度和測量精度三個核心指標方面均優于目前國際最高水平。

　　【技術指標】

　?。?）微力或非接觸式瞄準與測量方式；
　?。?）孔徑測量范圍：?0.1 mm～20mm，擴展不確定度：0.5μm（k=2）；
　?。?）可測長徑比：
　　微孔部分：    ?0.1 mm～1.0mm（不含?1.0mm）  9:1              
　　小孔部分：    ?1.0 mm～20.0mm  13 :1

　　【技術水平】國際領先

　　【可應用領域和范圍】

　　【專利狀態】已取得專利22項

　　【技術狀態】試生產、應用開發階段

　　【合作方式】技術服務

　　【投入需求】1200 萬元

　　【轉化周期】1～2年

　　【預期效益】（1）在航天、航空的研究單位、企事業單位和計量技術機構，可推廣工程測量型大深徑比微/小孔徑超精密測量儀。其市場需求約為100臺；同時在汽車工業領域推廣上述儀器，其市場需求約為700臺。以每臺售價150萬元計，可創產值12.0億元人民幣；

　　（2）所發明的三類傳感器都具有三維瞄準和測量能力，在三坐標測量領域具有推廣應用價值。

　　【聯系方式】王  林0451-86403078/15846581523