【技術簡介】濺射薄膜壓強傳感器技術主要由濺射薄膜壓強傳感器敏感結構、金屬納米薄膜敏感芯體批量生產工藝及多功能智能信號處理技術構成，其核心是敏感器件結構設計及其離子束濺射成型工藝。離子束濺射是采用低能加速器轟擊，動能轉換搬遷原子薄膜淀積技術，將納米薄膜應變電阻直接制作在和金屬彈性體緊密結合的陶瓷絕緣膜上，實現了敏感元件與絕緣膜、金屬彈性體和絕緣膜的原子結合。在此基礎上結合離子束刻蝕工藝以及微機械加工工藝，制成了納米薄膜壓力傳感器，使之具有高穩定性、溫度范圍寬的本質特性，是傳統的硅半導體壓強傳感器所無法匹敵的。結合優秀的結構設計，濺射薄膜傳感器就具備了體積小、可靠性高、環境適應性強等突出的優點，非常適合油田、工程機械、航空航天、軍工等對傳感器可靠性和長期穩定性要求高的應用領域。同時，為了適應智能化、網絡化測試的技術發展需要，創造性的集成開發了具備物聯網特征的服務功能。經成果鑒定，達到了國內領先的技術水平，與國外同類高端產品相比具有明顯的成本優勢，完全可以替代進口。
【主要技術指標】
(1）測量壓力范圍：0～60MPa；
(2）測量精度：優于0.05%；
(3）長期穩定性：優于0.01%FS/年；
(4）溫度范圍：-55℃～300℃；
(5）功耗不大于0.1W；
(6）過載能力：2倍滿量程壓力；
(7）工作壽命：≥15年；
(8）信號制式：模擬式（電壓、電流）
數字式（多種數字接口、網絡接口）。
【適用范圍】陜西電器研究所開發的濺射薄膜壓強傳感器以其高穩定度、環境適應適應能力強、價格低、高精度和信號制式靈活的特點，完全可以替代目前占絕對優勢地位的進口壓強傳感器產品，在石油化工、工程機械、汽車、航空航天、市政、軍工等領域內都有著廣闊的應用前景。隨著產品系列化的延伸和智能化、網絡化提升后，該產品將融合定位、網絡接入、多傳感器聯合判斷、數據暫存、自我管理等特性，支撐以智能、泛在為標志的各種類型的工業物聯網應用。
【專利狀態】申報專利３項。
【技術狀態】批量生產、成熟應用階段
【合作方式】合作開發
【預期效益】預計全國市場（航空、航天等國防領域，油田、汽車、冶金等民用領域）對本產品的年需求量為50萬臺以上。薄膜傳感器售價約為0.2萬元/套，陜西電器研究所按年銷售量15000套計算，可實現年產值0.3億元。
【聯系方式】朱金薇  029-83606715/15353655500