項目名稱: 384×288非制冷紅外探測器
項目需求:
是否獲得發(fā)明專利: 是（ ） 否（） 授權(quán)專利號：
項目所處階段: 成果 （） 正在孵化（ ） 可產(chǎn)業(yè)化（ √）
項目聯(lián)系人: 唐海韻 電話:028-83207286 郵箱:1469601313@qq.com
項目簡介：
該項目在384×288非制冷紅外探測器器件的總體設計、關(guān)鍵材料技術(shù)、微橋結(jié)構(gòu)設計與制造工藝、專用讀出電路等方面取得了創(chuàng)新成果：
    1．首次建立了相關(guān)材料參數(shù)、工藝參數(shù)數(shù)據(jù)庫，構(gòu)建了器件設計仿真平臺，實現(xiàn)了自頂而下的非制冷紅外探測器正向設計。
    2．提出了非金屬元素原位摻雜及雙反應氣體濺射工藝方法，實現(xiàn)了6英寸高穩(wěn)定性低1／f噪聲氧化釩薄膜低溫工藝。
    3．發(fā)明了多層階梯結(jié)構(gòu)的電極連接方法及漸緩坡度的犧牲層工藝，強著提高了器件單元的支撐性能和電學連接穩(wěn)定性。
    4．發(fā)明了基于動態(tài)濃度控制的新型NiCr濕法腐蝕工藝方法，實現(xiàn)了6英寸高均勻性窄線寬關(guān)鍵電極圖形化工藝。
    5．提出了差分電流鏡的偏置電路結(jié)構(gòu)，有效降低了器件的噪聲等效溫差  (NETD)。
    該項目與當前國內(nèi)外同類器件的綜合性能比較，主要技術(shù)指標達到國際先進水平(部分屬國際領(lǐng)先水平)，打破了國外的技術(shù)封鎖和壟斷，該成果在紅外監(jiān)控系統(tǒng)中得到應用，效果好，具有廣闊的市場前景，推動了該領(lǐng)域的技術(shù)發(fā)展。