項目名稱: 384×288非制冷紅外探測器
項目需求:
是否獲得發明專利: 是（ ） 否（） 授權專利號：
項目所處階段: 成果 （） 正在孵化（ ） 可產業化（ √）
項目聯系人: 唐海韻 電話:028-83207286 郵箱:1469601313@qq.com
項目簡介：
該項目在384×288非制冷紅外探測器器件的總體設計、關鍵材料技術、微橋結構設計與制造工藝、專用讀出電路等方面取得了創新成果：
    1．首次建立了相關材料參數、工藝參數數據庫，構建了器件設計仿真平臺，實現了自頂而下的非制冷紅外探測器正向設計。
    2．提出了非金屬元素原位摻雜及雙反應氣體濺射工藝方法，實現了6英寸高穩定性低1／f噪聲氧化釩薄膜低溫工藝。
    3．發明了多層階梯結構的電極連接方法及漸緩坡度的犧牲層工藝，強著提高了器件單元的支撐性能和電學連接穩定性。
    4．發明了基于動態濃度控制的新型NiCr濕法腐蝕工藝方法，實現了6英寸高均勻性窄線寬關鍵電極圖形化工藝。
    5．提出了差分電流鏡的偏置電路結構，有效降低了器件的噪聲等效溫差  (NETD)。
    該項目與當前國內外同類器件的綜合性能比較，主要技術指標達到國際先進水平(部分屬國際領先水平)，打破了國外的技術封鎖和壟斷，該成果在紅外監控系統中得到應用，效果好，具有廣闊的市場前景，推動了該領域的技術發展。