項目的背景及目的
迄今為止，集成電路的模擬、仿真直至評測已有了非常完善的工具軟件；并已成為設計過程的重要組成部分；對設計的成功、可靠、高效都已起到決定性作用。而對MEMS而言，還相差甚遠，這和MEMS發展的成熟程度有著直接關系。當然，這并不意味著MEMS不需要這樣的工具和系統。相反，由于MEMS的功能多樣、加工復雜、分析困難、設計周期長、成本高等。特別需要一個能包括運動仿真、評測在內的設計工具和系統。這是當前推動MEMS發展的當務之急。
技術原理與工藝流程
針對MEMS器件設計系統中機械性能仿真不足的問題，本課題前期提出了虛擬運行的概念，就是讓器件的三維圖形模型在虛擬環境中按照器件動態模型運行起來。虛擬運行對于MEMS 器件的機械性能評測，特別是定量的性能評測，無疑是至關重要的。虛擬運行的基礎是器件動態模型，動態建模的困難影響了它的巨大效益的發揮。
設計與加工脫節是MEMS研制中另一個障礙，加工出來的器件會與設計的三維形狀有一定程度的偏差；建立在這種帶有實際偏差基礎上的虛擬運行才更有說服力。因此，前期研究中提出的第二個概念：虛擬工藝。服務于建立通用的可視化的行為級仿真與驗證系統的目的，虛擬工藝的目標是建立通用的可視化的工藝級仿真與驗證系統。
MEMS設計中，通用的核心思想集中體現在IP庫的概念中。將IP庫的概念引進我們的研究工作，基于IP庫的通用的MEMS器件可視化仿真與驗證工具。
主要技術性能指標
1) 建立基于IP庫的通用的MEMS器件可視化仿真與驗證方法。
a) 包含標準的IP庫。IP庫中包含3個以上的宏模型。
b) 包含虛擬工藝功能；可用于工藝級仿真與驗證。
c) 包含虛擬運行功能；可用于行為級仿真與驗證。
2) 建立通用的可視化工藝仿真與工藝驗證系統。
a) 建立一套基于Voxel的通用MEMS工藝仿真方法。
b) 建立一套通用的工藝仿真平臺。
c) 建立一套通用的MEMS工藝驗證系統。
3) 建立通用的行為級可視化仿真與驗證系統。
a) 包含三類建模形式的行為級模型到IP庫中標準宏模型的轉換接口。
b) IP庫中的器件可以通過虛擬運行實現行為級仿真與驗證。
4) 利用上述系統完成新器件的設計，并實際加工制作、封裝、測試，預期形成整個微系統。
技術水平及用途
本項目得到國家“863”計劃項目支持，應用行業為1.航空2.生物 3.軍事。MEMS的器件研究主要集中在傳感器、光學MEMS、射頻MEMS、微流體與生物MEMS等多個方面。人們不僅要開發制造MEMS 的各種技術，更重要的是如何將制成的MEMS 器件用于實際系統中，并從中受益。目前可以預見的應用領域包括汽車、航空航天、信息通訊、生物化學、醫療、自動控制、消費品及國防等。
應用前景分析及效益預測
課題針對Bosch/RIE/ISOTROPIC等工藝的二維仿真器研究相關成果，已經集成到IntelliSense公司MEMS設計軟件之中，成為IntelliSense公司產品的一部分，實現了研究成果商品化。目前,本課題正在與IntelliSense公司進行基于Voxel的可視化軟件方面的合作。這一外部環境使我們可以較方便地借助跨國公司的銷售渠道，實現研究成果的商品化。
本課題研究成果與前期工作主要區別在于強調通用性，這就使得用戶在應用該成果時會方便地繼承前期使用其他設計系統的結果；同時該成果還可以方便地與其他設計軟件或產品集成；這都會很大程度上促進研究成果應用和商品化。