成果名稱：大量程納米級光柵位移傳感器

　　成果簡介

　　在國家自然科學基金項目支持下，學校研制出利用單根低線數計量光柵實現大量程、納米級分辨率、高性價比的位移測量的大量程納米級光柵位移傳感器。其主要創新點有：

　　1.首次從原理上提出了利用單根低線數計量光柵實現大量程、納米分辨率的位移測量方法，并提出了一種對相位差不敏感的交點跟蹤式莫爾(干涉)條紋信號計數細分方法;

　　2.設計了一種基于保偏光纖耦合器的鏡柵隨動式光柵干涉儀光路，突破了傳統光柵干涉儀量程的限制，從技術上實現了大量程、高精度的位移測量;

　　3.提出了一種高分辨率數字化微光學灰度掩模制作方法，研制了相應的制作裝置，可實現大量程納米級光柵位移傳感器的產品系列化。

　　現已獲授權3項發明專利，2009年度獲湖南省技術發明二等獎。經國家二級計量站比對測試，其測量范圍達2m，分辨率為1nm，測量精度優于±0.15μm。該成果填補了國內超精密加工中低價位納米級位移測量儀器的空白，總體性能指標達到國際先進水平，可廣泛應用于機械加工精密位移測量、位移量同步比較測量等領域。

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