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大尺寸硅外延生產(chǎn)技術(shù)

關(guān)鍵字：大尺寸硅外延生產(chǎn)技術(shù)

所屬行業(yè)：新材料

發(fā)布時間：2015-03-02

價格：

所在地區(qū)：江蘇南京

合作信息期限：2016年2月

合作信息類型：意向合作

機構(gòu)類型：企業(yè)

供求關(guān)系：供應(yīng)

合作信息簡介：【技術(shù)簡介】通過對外延設(shè)備在硅片上再生長一層外延層的控制、不同的參雜等，可滿足不同客戶的產(chǎn)品需求。外延工藝是以 SiHCl3為源，通過中頻加熱方式進行氣相淀積，電阻率、厚度、均勻性和重復(fù)性均能得到較好的控制。　　【技術(shù)特點】已完全掌握6～8英寸硅外延工藝和技術(shù)，產(chǎn)品及工藝技術(shù)水平國內(nèi)..

發(fā)布機構(gòu)：中國電子科技集團公司第五十五研究所

共1頁總數(shù)：2條

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